本發明涉及一種薄膜制備的噴霧熱分解方法，該方法首先配制所需金屬鹽溶液，然后經過壓縮空氣霧化器，使溶液霧化，在載流氣體的帶動下噴進放置有被加熱基板的容器中，霧體經過烘烤后揮發去溶劑并進一步分解沉積在基板上成膜。該方法易于控制化學計量比，具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次鍍膜，同時霧化時不發熱，而且霧量穩定，不需冷卻裝置。該方法可制備金屬氧化物薄膜。